判斷掃描電鏡樣品是否發(fā)生充電，可以從圖像特征、操作反應和信號變化幾個方面觀察。充電是非導電樣品常見的問題之一，表現(xiàn)通常很明顯，下面給出簡單易判斷的方法，內(nèi)容帶標點、不用符號、易理解。

第一，看圖像是否出現(xiàn)異常亮斑或局部過亮。若表面某些區(qū)域突然變得特別亮，且亮度不隨參數(shù)調(diào)節(jié)而正常變化，這通常是電子積聚造成的充電跡象。

第二，看圖像是否產(chǎn)生漂移。當樣品充電后，電子束受到靜電場干擾，會導致視野不斷移動或緩慢飄走。若圖像難以穩(wěn)定停在同一區(qū)域，通常說明充電正在發(fā)生。

第三，看圖像是否出現(xiàn)局部黑斑或反差異常。部分區(qū)域可能突然變暗或完全看不見細節(jié)，這是因為電子束被偏轉(zhuǎn)或信號被屏蔽導致。

第四，觀察是否出現(xiàn)邊緣模糊或細節(jié)突然消失。充電會使電子束不能準確落點，從而導致邊緣變虛或精細結(jié)構(gòu)無法成像。

第五，注意掃描時是否出現(xiàn)閃爍。圖像明暗不停跳動、閃爍或抖動，往往也是充電引起的電子束不穩(wěn)定。

第六，調(diào)低加速電壓看情況是否改善。如果降低電壓后圖像突然穩(wěn)定下來，基本可以確定之前是充電影響。

第七，檢查工作距離變化的影響。如果在不同工作距離下圖像失真程度有明顯變化，也多與充電有關(guān)。