掃描電鏡圖像噪聲主要來(lái)源多樣，不同類型噪聲的產(chǎn)生機(jī)制不同，抑制方法也有所差異。常見噪聲類型及對(duì)應(yīng)抑制方法如下：

電子信號(hào)統(tǒng)計(jì)噪聲

來(lái)源：電子束在樣品上產(chǎn)生二次電子或背散射電子時(shí)，電子數(shù)量有限且隨機(jī)波動(dòng)，導(dǎo)致信號(hào)本身有隨機(jī)起伏。

抑制方法：增加電子束電流，提高探測(cè)信號(hào)強(qiáng)度；延長(zhǎng)掃描時(shí)間或累加多幀圖像以平均噪聲；使用探測(cè)器增益優(yōu)化。

電氣噪聲

來(lái)源：探測(cè)器、放大器和電纜線路中產(chǎn)生的電子噪聲，如熱噪聲或電源干擾。

抑制方法：確保電子系統(tǒng)接地良好，減少干擾源；使用屏蔽電纜；在可能的情況下降低放大器噪聲；保持設(shè)備溫度穩(wěn)定。

充電噪聲

來(lái)源：非導(dǎo)電樣品或局部絕緣區(qū)域積累電荷，產(chǎn)生局部電場(chǎng)，擾動(dòng)電子束，導(dǎo)致圖像亮度隨機(jī)波動(dòng)或斑點(diǎn)。

抑制方法：對(duì)樣品進(jìn)行金屬噴鍍或?qū)щ娞幚?；降低電子束電流和加速電壓；使用低真空模式或環(huán)繞導(dǎo)電膜。

機(jī)械振動(dòng)噪聲

來(lái)源：樣品臺(tái)、電子槍或?qū)嶒?yàn)室環(huán)境的振動(dòng)引起圖像模糊或高頻噪聲。

抑制方法：使用減振平臺(tái)；確保設(shè)備安裝穩(wěn)固；減少附近振動(dòng)源干擾。

環(huán)境電磁干擾

來(lái)源：實(shí)驗(yàn)室電器、磁場(chǎng)波動(dòng)或強(qiáng)射頻干擾影響電子束偏轉(zhuǎn)和探測(cè)信號(hào)。

抑制方法：遠(yuǎn)離強(qiáng)電磁源；使用屏蔽室或屏蔽罩；保證電源穩(wěn)定。

圖像處理或數(shù)字噪聲

來(lái)源：信號(hào)采集后的數(shù)模轉(zhuǎn)換或圖像處理過(guò)程中引入的誤差。